真空氣氛爐又名無(wú)氧退火爐、真空氣氛燒結爐等物體在通入一定氣體的爐膛內進(jìn)行燒結的方法。不同的材料選擇適宜的氣氛燒結，有助于燒結過(guò)程，提高制品致密化程度、獲得良好的性能的制品。真空氣氛爐常用的有真空、氫、氧、氮和惰性氣體（如氬）等各種氣氛。例如透明氧化鋁陶瓷可用氫氣氛燒結，透明鐵電陶瓷宜用氧氣氛燒結，氮化物陶瓷如氮化鋁等宜用氮氣氛燒結。有時(shí)為保護燒結調協(xié)也須在保護氣氛中操作。如鉬絲爐宜通氫，鎢絲爐宜在真空條件下工作。

真空氣氛爐是真空技術(shù)與熱處理技術(shù)相結合的新型熱處理技術(shù)，真空熱處理所處的真空環(huán)境指的是低于一個(gè)大氣壓的氣氛環(huán)境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空熱處理實(shí)際也屬于氣氛控制熱處理。真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進(jìn)行的，真空熱處理可以實(shí)現幾乎所有的常規熱處理所能涉及的熱處理工藝，但熱處理質(zhì)量大大提高。與常規熱處理相比，真空熱處理的同時(shí)，可實(shí)現無(wú)氧化、無(wú)脫碳、無(wú)滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。